La serie SPA è in grado di fornire una misurazione accurata, senza contatto e non distruttiva dello spessore del film, adatta per materiali polimerici, pellicole di ossido a base di silicio e pellicole di vetro a base di silicio con spessore del film compreso tra 2 e 100 µ m. Il metodo di generare frange interferenti cambiando l'angolo in base alle frange interferenti (VAMFO - Variable Angle Monochromatic Stripe Observation). Per la misurazione dell'indice di rifrazione del film denso, la luce monocromatica viene irradiata direttamente sul campione misurato, in modo che il valore minimo di interferenza della luce riflessa indietro dalla superficie del film cambierà e anche l'angolo incidente della luce cambierà. In questa tecnica, lo spessore del film viene calcolato dalla posizione dell'angolo tra i due valori minimi di interferenza. Per questa condizione di misura - il film ha due o più valori minimi di interferenza--Lo spessore del film deve essere superiore al tasso minimo di trebbiatura, di solito 2 micron. La macchina di bloccaggio del campione utilizza il vuoto per sostenere il campione dal retro, rendendo l'installazione facile e semplice. Tipi misurabili di pellicole/substrati sottili, compresi ossidi, nitruri, dielettrici, polimeri o pellicole sottili di quasi qualsiasi materiale trasparente o semitrasparente su substrati di silicio. Tipi di film/substrato misurabili: film sottili di quasi qualsiasi materiale trasparente o semi trasparente su ossido, nitruro, materiale dielettrico, polimero o substrato di silicio.
Il coefficiente fototermico del film di materiale è stato misurato utilizzando un prisma SPA-4000 con una tabella di controllo della temperatura. Il coefficiente fototermico del materiale è definito in funzione dell'indice di rifrazione che cambia con la temperatura e può essere utilizzato come interruttore digitale ottico, spaziatura Mach Zehnder e interruttore ottico di tipo trasversale. Questi dispositivi ottici controllano il percorso ottico cambiando la temperatura e svolgono un ruolo chiave nella comunicazione di rete. La teoria degli effetti ottici più ampiamente citata in questo materiale è la teoria Prod'homme
Caratteristiche del prodotto:
1. misurazione dell'indice di rifrazione/spessore/perdita ottica di film sottili e guide d'onda
2. Misura ad alta risoluzione dell'indice di rifrazione e dello spessore del film
3. Misura di alta precisione di materiali sfusi o substrati
4. misurazione di film sottili a doppio strato (anche a lunghezze d'onda di 1310 nm o 1550 nm con diversi ~㎛ spessore)
5. Combinazioni film/substrato non correlate
6. Nessuna conoscenza preliminare richiesta, facile da usare.
7. Misura di alta precisione dei materiali del lotto o del substrato
8. Misura dell'anisotropia/birefringenza (capacità TE e TM)
9. Caratterizzazione rapida
10. può essere utilizzato per molti laser all'interno della gamma di lunghezze d'onda (632.8nm ~ 1550nm)
Indicatori tecnici:
Indicatori di misurazione |
Intervallo |
|
Indice di rifrazione |
Campo di misura dell'indice di rifrazione |
da 1,0 a 2,45 |
Precisione dell'indice di rifrazione |
0.001 |
|
Risoluzione dell'indice di rifrazione |
±0.0005 |
|
spessore |
Campo di misura dello spessore |
0.4㎛-20㎛ |
Precisione dello spessore |
±0.5% |
|
Risoluzione dello spessore |
±0.01㎛ |
|
Materiale del corpo |
Precisione dell'indice di rifrazione |
0.0005 |
(Misura solo l'indice di rifrazione) |
Risoluzione dell'indice di rifrazione |
±0.0001 |
Pellicola spessa |
Campo di misura dello spessore |
2㎛-150㎛ |
liquido |
Campo di misura dell'indice di rifrazione |
da 1,0 a 2,4 |
(Misura solo l'indice di rifrazione) |
Precisione dell'indice di rifrazione |
± 0.0005 |
Coefficiente ottico termico |
Campo di prova della temperatura |
Temperatura ambiente -150℃ |
Misurazione della perdita della guida d'onda |
Limite di misura |
below |
0,05 dB/cm
3,Applicazione
Componenti ottici dei sistemi di comunicazione ottica
Interruttore ottico
Attenuatore ottico variabile (VOA) per WDM (multiplexing divisione lunghezza d'onda)
-Bassa perdita di propagazione ottica
Fibra ottica plastica (POF)
Amplificatore in fibra ottica di plastica (POFA) per la comunicazione ottica
Polimero ad alta temperatura per guide d'onda
Dipendenza dalla temperatura
Proprietà dei polimeri
-Studiare le proprietà del cromo dei polimeri
- Visualizzazione ed elaborazione delle informazioni
-Materiali di stoccaggio
Nanodispositivi: MEMS, microelettronicaarea di applicazione
:
L'accoppiatore prismatico serie SPA può misurare tutti i tipi di film/substrati. Si prega di fare riferimento alla tabella sottostante per i dettagli.
Questi film di massa e indipendenti sono misurabili. |
Tipo di pellicola |
|
Tipo di substrato |
Nitruro di silicio |
Nitruro di silicio |
silicio |
biossido di silicio |
ITO |
arsenuro di gallio |
Ossido di nitruro di silicio |
zaffiro |
quarzo |
Low-K Films |
Solfuro di zinco |
Vetro |
poliimide |
titania |
zaffiro |
polimeroEpi |
Granato |
GGG |
Photoresist |
Gel olografico |